MEMS és l'abreviatura de micro-motor system. La mida de miniaturització individual del producte acabat és a nivell de mil·límetres o fins i tot de micres. S'utilitza àmpliament en comunicacions 5G, control de seguretat, automatització industrial, electrònica d'automòbils i altres camps. En aquesta etapa, es pot dir que gairebé tots els productes electrònics s'apliquen als MEMS.
Avantatges del dispositiu MEMS: mida petita, pes lleuger, fàcil integració, baix consum d'energia, alta sensibilitat i molts altres avantatges. I es pot produir en massa. Tot i que es pot produir en massa, els envasos MEMS no són universals. Segons els diferents tipus funcionals de components MEMS, l'estructura dels components i els mètodes d'embalatge són diferents i el tipus dedicat és més alt.
La tecnologia de muntatge a nivell de xip s'utilitza habitualment en aquesta etapa. Naturalment, hi ha requisits força estrictes sobre la precisió del muntatge, l'entorn operatiu i els mètodes d'alineació.
Dificultats del muntatge a nivell de xip MEMS
1. Estàndard d'alta precisió d'embalatge
El programari del sistema MEMS inclou una interfície de senyal de dades única, habitatge, paret interior i altres estructures, que augmenten la dificultat del control de la posició i l'angle durant la selecció i col·locació durant tot el procés d'unió de cables de components MEMS i substrats multifuncionals.
2. El material és fràgil i es trenca fàcilment
Els dispositius MEMS, com ara microacceleròmetres, micromotors, etc., generalment tenen estructures mecàniques, com ara cavitats o voladís incorporats. Aquestes estructures són de mida petita i tenen una resistència mecànica molt menor que els xips IC. Són molt vulnerables al contacte físic durant el muntatge i altres processos.
Moltes parts del dispositiu MEMS no només són de mida petita, sinó també fràgils i fràgils, com ara solcs i sectors profunds, de manera que la pressió de treball aplicada durant l'enllaç és molt important. Si la pressió de treball és massa petita, la connexió no estarà tancada; si la pressió de treball és massa alta, els components es faran malbé.
Es pot veure que els nivells de precisió i les amplituds d'enllaç són condicions necessàries per millorar la velocitat de superació de la instal·lació del transceptor de radiofreqüència MEMS.
Quan el gruix del dispositiu MEMS està entre 50 i 150 μm, la pressió de treball d'unió del cable seleccionada és d'entre 50 i 100 g i el desplaçament de rotació ha de ser inferior a 0,3 °, de manera que el dany als components es pot reduir en gran mesura. , i el compliment es pot millorar. Taxa.
Alineació d'alta precisió, tipus de pegat, per garantir la velocitat de superació
Retroalimentació a nivell de micres per obtenir informació precisa de dades, precisió de control de força de ± 0,01 N, nivell de precisió de repetibilitat lineal de ± 2 μm, nivell de precisió de repetibilitat de rotació de ± 0, 01 °, deflexió radial inferior a 10 μm, especificació de resolució del codificador 1 μm, disponible en sortida estable fins i tot en condicions altes -velocitat de funcionament, millora de la taxa de qualificació i estabilitat.
Aspiració al buit, pressió de treball controlable, redueix el consum
El motor rotatiu lineal Guoao adopta un disseny de l'eix Z buit, un endoll traqueal reservat, una aspiració al buit, un plug and play i pot oferir serveis personalitzats segons l'estructura i les característiques dels components;
Conté un"aterratge suau" funció, que pot completar un control de força estable en ± 1,5 g, i pot personalitzar paràmetres com ara la velocitat, l'acceleració i el control de la força, de manera que el capçal de col·locació pugui tocar els components MEMS amb una pressió de treball molt precisa, reduint l'esgotament.
& quot;Z+R" disseny integrat d'eix per augmentar la velocitat
La innovadora solució integrada de dos eixos combina el tradicional"servomotor + cargol de boles" en un, que pot gestionar bé el problema de càrrega de pes propi de l'eix Z i el component complet Pick&lificador; Col·locació, col·locació i altres accions a gran velocitat i precisió. Empenta La corba és suau, l'empenta màxima és de 8-50 N, la carrera efectiva és de 10-50 mm i la vida útil del cicle ultra-alta permet una producció eficient.
